Dumont銅網(wǎng)鑷子的使用**事項

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，技術(shù)的不斷改良，芯片尺寸的不斷縮減，材料生長日趨多元化、立體化、微型化，各種類型的異質(zhì)材料中存在的界面、應(yīng)變態(tài)、應(yīng)變弛豫及隨后的晶格失配位錯的形成等，為TEM的使用提供了廣闊的發(fā)展空間。TEM的原理是電子束穿透樣品，并激發(fā)出透射電子，經(jīng)過聚焦與放大，采用探測器收集信號并成像。由于電子易散射和被物體吸收，所以必須制備超薄切片。現(xiàn)今，半導(dǎo)體行業(yè)中大部分采用聚焦離子束制備樣品，然后在專用的光學(xué)顯微鏡下，采用帶靜電的玻璃針，將樣品取出并放在碳膜銅網(wǎng)上。碳膜銅網(wǎng)很薄，且直徑僅為3毫米，所以碳膜銅網(wǎng)的夾取是否可靠直接關(guān)系到TEM的樣品是否**。

現(xiàn)今，半導(dǎo)體行業(yè)中大部分采用聚焦離子束制備樣品，然后在專用的光學(xué)顯微鏡下，采用帶靜電的玻璃針，將樣品取出并放在碳膜銅網(wǎng)上。碳膜銅網(wǎng)很薄，且直徑僅為3毫米，所以碳膜銅網(wǎng)的夾取是否可靠直接關(guān)系到TEM的樣品是否**。現(xiàn)今市場上用于夾取碳膜銅網(wǎng)的鑷子一般具有細(xì)而尖的末端，鑷子的兩個末端分別與碳膜銅網(wǎng)正反兩個表面壓緊。Dumont銅網(wǎng)鑷子主要存在以下幾個問題

1.鑷子夾取樣品時很容易將碳膜戳破，導(dǎo)致TEM樣品的遺失，或者是碳膜表面的不平整導(dǎo)致TEM樣品無法觀測；

2.碳膜銅網(wǎng)尺寸很小，鑷子夾取時力度很難控制，易導(dǎo)致其掉落；

3.鑷子的**很細(xì)長，很容易在操作的過程中戳到人，對人存在一個潛在的威脅。

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